罗茨真空机组是由罗茨真空机和前级泵串联组成的真空机组。一般抽真空限可达到真空度2帕到0.02帕。启动它的方法就是将机组连接到被抽容器上后，开启罗茨真空机组冷却水，开启前级泵，然后缓慢打开主阀（一般就是罗茨真空机组的入口阀），这时罗茨泵开始跟转，待容器真空抽到1000到500帕时（简单的判断方法：罗茨泵不再跟转），开启罗茨泵，直到你所需要的真空度。
　　罗茨真空机组开机前准备
　　检查水冲泵(前级泵)水箱液位是否达到水箱的3/4以上，若不足则补足，检查水箱内所使用的水是否清洁，不允许用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，罗茨真空机组增加水泵叶轮磨损、较大电机负荷造成故障，影响水冲泵使用寿命。检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高度，须达油窗的3/4以上，同时检查润滑油的颜色，罗茨真空机组出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修更换润滑油。
　　罗茨真空机组检查中间泵及主泵循环冷却水水路是否完好，打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却进出水是否正常，检查中间泵底部缓冲罐排污阀门是否关闭，检查真空泵机组电路完好及控制柜各项指示等是否正常。检查真空泵机组电触点压力表中级泵、主泵启动压力是否正常(中级泵启动入口压力为0.065Mpa以上，罗茨真空机组主泵启动入口压力为0.085Mpa以上)。待以上事项检查完毕确认无误后方可启动真空机组。
　　罗茨真空机组启动
　　打开中间泵和主泵循环冷却水进出口阀门，确保罗茨真空机组循环冷却进出水正常，关闭水冲泵缓冲罐排污阀门，启动水冲泵，待运行正常(电机及泵发出噪声均衡)后，缓慢开启前级水冲泵旁通管道上的阀门和进气阀门，待系统压力达到中间泵设定的允许进口压力后，启动中间泵，如果采用自动控制挡，则直接拨到自动控制挡，机组的启动过程则实现自动化。
　　如手动控制，当中间罗茨真空机组泵出口压力达到主泵允许进口压力后，启动主泵。
　　罗茨真空机组的排气压力
　　罗茨真空机组在工作时，会不断将空气排出泵体，以在吸气口形成工作需求的真空度，也就是说排气压力也是影响水环罗茨真空机组运行效率的另一主要因素。
　　排气压力会对罗茨真空机组吸气量和轴运转功耗带来巨大的影响。当它在运行时，如果其排气压力越大时，罗茨真空机组的吸气量就会越小，相应轴运转功耗就会越大。相反，当系统排气压力越小时，它的吸气量就会越大，相应轴运转功耗就会越小。

　　因此，在实际运行维护过程中，应该实时观察罗茨真空机组系统的排气压力数据，当出现异常排气压力数据时，应该立即采取相应的措施对整个真空系统进行更新改造，使得真空系统排气压力长期维持在标准范围值内，保证罗茨真空机组始终处于优工况条件下，有效提高整体运行机械效率.