不锈钢真空泵不能在大气压下工作，所以它需要预真空。一些不锈钢真空泵的出口压力低于大气压力，因此需要前级泵，所以所有的泵都需要组合使用。如果严格要求无油设备，应选用各种无油泵，如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵和一些防油污措施，如安装冷阱、挡板、集油器等，还能满足洁净真空的要求。
　　在其工作压力下，不锈钢真空泵应能排出真空设备过程中产生的所有气体。由于该产品需要选择性泵送，有时一台泵无法满足泵送要求，需要几台泵组合起来，相互补充才能满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢气有很高的抽速，但不能抽氦，而三极溅射离子泵（或双极不对称阴极溅射离子泵）对氩气有一定的抽速。如果将两个泵结合起来，真空装置将获得更好的真空度。
　　不锈钢真空泵应安装在坚实的地面上，周围有足够的空间，以便于检查和维护。基础标高应保持在真空泵底座以下，建议在底座的四个角上安装减震橡胶或用螺栓浇注，以确保不锈钢真空泵的平稳运行和低振动。

　　与不锈钢真空泵系统的连接管道应密封可靠。管道金属垫片可用于小型真空泵，真空软管可用于小型真空泵，管道直径不应小于吸入直径，要求管道短，弯头少。

2024.8.8  ZG